SU1510

日立ハイテクノロジーズ

2014年度 (EDX:2007年度)

センター3F 分析電子顕微鏡室(1)

タングステンフィラメント式熱電子放出型電子銃
高真空モード（10^-4Pa程度）／低真空モード（6～270Pa）
検出器：高真空二次電子検出器（高真空モード30kVで分解能3.0nm）
　　　　高真空/低真空対応四分割半導体反射電子検出器
　　　　（低真空モード30kVで分解能4.0nm）

＜EDX＞
検出器型式：XFlash 4010（Bruker AXS）
検出器種類：SDD（シリコンドリフト検出器）
冷却方式：ペルチェ電子冷却
エネルギー分解能：125eV（Mn-Kα）
測定可能元素：4Be～95Am
機能：スペクトル測定（定性分析）、定量分析（スタンダード有り/無し）、ライン分析（定性、定量）、全元素X線マッピング

学部生：△　博士前期：◯　博士後期：◯　教職員：◯

学内：◯　学外：◯

試料表面構造の観察
試料表面の定性、定量、元素分布状態分析

学部生の使用には条件があります。
詳細はセンターへお問い合わせください。