低温低真空走査型分析電子顕微鏡

型式

S-3400N
メーカー

日立ハイテクノロジーズ
導入年度

2009年度
設置場所

センター3F 分析電子顕微鏡室(2)
仕様

電子銃 ： 熱電子放出型（タングステンフィラメント）
対物レンズ ： アウトレンズ型
低真空モード設定圧力 ： 6 ～ 270Pa
加速電圧 ： 0.3kV ～ 30kV （常用 15kV）
観察倍率 ： 5 ～ 300,000倍
分解能 ： 3.0nm（30kV）、10nm（3kV）
付属品 ： 半導体反射電子検出器（4分割+1）
　　　　（分解能：4.0nm（30kV, 低真空））
低真空二次電子検出器（ESED）（分解能：10nm（30kV, 低真空））
エネルギー分散型X線検出器（EDX）　（Bruker XFlash 5010）
（有効素子面積 10mm2、エネルギー分解能 MnKα=123eV）
クライオトランスファーシステム　（Gatan ALTO 1000）
利用区分

学部生：△　博士前期：◯　博士後期：◯　教職員：◯
依頼分析

学内：◯　学外：◯
管理担当者

金子 康子（教育学部教授）
柿崎 浩一（理工学研究科（機能材料）准教授）
徳永 誠（科学分析支援センター主任技師）
活用事例

試料表面構造の観察
絶縁性試料の無蒸着観察
ガス放出の多い試料や高真空中で不安定な試料の観察
生体物質（植物細胞、動物細胞など）や含水試料の凍結観察
試料表面の定性、定量、元素分布状態分析

備考

液体窒素を使用する際は自己負担

S-3400N