S-4800

日立ハイテクノロジーズ

2009年度

センター3F 分析電子顕微鏡室(1)

電子銃 ： 冷陰極電界放出型（Cold FE）
対物レンズ ： セミインレンズ型
加速電圧 ： 0.5kV ～ 30kV （常用 15kV）　（標準モード）
照射電圧 ： 0.1kV ～ 2kV　（リターディングモード）
観察倍率 ： 20 ～ 800,000倍
分解能 ： 1.0nm （加速電圧15kV, WD=4mm）
2.0nm （加速電圧1kV, WD=1.5mm）（通常モード）
1.4nm （照射電圧1kV, WD=1.5mm）（リターディングモード）
付属品 ： エネルギー分散型X線検出器（EDX）　（Bruker XFlash 5030）
（有効素子面積 30mm2、エネルギー分解能 MnKα=127eV）

学部生：△　博士前期：◯　博士後期：◯　教職員：◯

学内：◯　学外：◯

柿崎 浩一（理工学研究科（機能材料）准教授）
徳永　誠（科学分析支援センター主任技師）

試料表面構造の超高分解能観察
試料表面の定性、定量、元素分布状態分析

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