Regulus-8220

日立ハイテク

2021年度

センター1F 高分解能電子顕微鏡室

電子銃 ： 冷陰極電界放出型（Cold FE）
対物レンズ ： セミインレンズ型
加速電圧 ： 0.5kV ～ 30kV （常用 15kV）　（標準モード）
照射電圧 ： 0.01kV ～ 20kV　（リターディングモード）
観察倍率 ： 20 ～ 2,000,000倍
検出器 ： Top、Upper、Lower（合計3台）
分解能 ： 0.6nm （加速電圧15kV, WD=4mm, 倍率×270k）
0.7nm （照射電圧1kV, WD=1.5mm, 倍率×200k）（リターディングモード）
付属品 ： エネルギー分散型X線検出器（EDX）（Bruker XFlash 6|100）
（有効素子面積 100mm2、エネルギー分解能 MnKα=129eV）
4+1半導体形反射電子検出器
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学部生：✕　博士前期：✕　博士後期：✕　教職員：◯

学内：◯　学外：◯

柿崎 浩一（理工学研究科（電気電子物理）准教授）
徳永　誠（科学分析支援センター主任技師）

試料表面構造の超高分解能観察
試料表面の定性、定量、元素分布状態分析

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