表面形状解析レーザー顕微鏡

型式

VK-X 3050
メーカー

KEYENCE
導入年度

2020年度
設置場所

センター3F 分析電子顕微鏡室(1)
仕様

カラー表示の画像観察(2D)および形状測定(3D)が可能
測定モード：レーザーコンフォーカル（赤色レーザー）
　　　　　　フォーカスバリエーション（白色光）
　　　　　　白色干渉
オプション：分光干渉膜厚測定
倍率：120～1200倍
対物レンズ：通常レンズ(X5,X10,X20,X50,★X100)
　　　　　　白色干渉レンズ(X10,★X20,★X50)
　※倍率の高いレンズ(★)は要付替え(応用測定)
　　

利用区分

学部生：△　博士前期：◯　博士後期：◯　教職員：◯
依頼分析

学内：◯　学外：◯
活用事例

材料表面の段差（断面表示）や透明膜厚の測定など
備考

応用測定（分光膜厚測定、レンズ付替え）は学部生不可

VK-X 3050

VK-X 3050で取得できるイメージ

二次元写真 三次元計測
2D image 3D image