表面形状解析レーザー顕微鏡

型式

VK-X 3050

メーカー

KEYENCE

導入年度

2020年度

設置場所

センター3F 分析電子顕微鏡室(1)

仕様

カラー表示の画像観察(2D)および形状測定(3D)が可能
測定モード:レーザーコンフォーカル(赤色レーザー)
      フォーカスバリエーション(白色光)
      白色干渉
オプション:分光干渉膜厚測定
倍率:120~1200倍
対物レンズ:通常レンズ(X5,X10,X20,X50,★X100)
      白色干渉レンズ(X10,★X20,★X50)
 ※倍率の高いレンズ(★)は要付替え(応用測定)
  

利用区分

学部生:△ 博士前期:◯ 博士後期:◯ 教職員:◯

依頼分析

学内:◯ 学外:◯

管理担当者

中島綾子(科学分析支援センター専門技術員)

活用事例

材料表面の段差(断面表示)や透明膜厚の測定など

備考

応用測定(分光膜厚測定、レンズ付替え)は学部生不可

VK-X 3050

VK-X 3050で取得できるイメージ

二次元写真 三次元計測
2D image 3D image