プラズマクリーナー

型式

Model 1020
メーカー

Fischione Instruments
設置場所

センター1F 高分解能電子顕微鏡室
仕様

プラズマシステム：
　高周波振動磁場（13.56MHz）システム
　　　（クオーツ／ステンレス製チャンバー）
　イオンエネルギー12eV以下
真空システム：
　ターボ分子ポンプ及びダイヤフラムポンプ（オイルフリー）
　最高真空度1×10-5 Pa
ガス：
　アルゴン酸素（アルゴン：75%、酸素：25%）
　供給圧力：0.2MPa（標準値）
利用区分

学部生：✕　博士前期：✕　博士後期：✕　教職員：◯
依頼分析

学内：◯　学外：◯
管理担当者

徳永誠（科学分析支援センター主任技師）
活用事例

TEM用試料および試料ホルダーのクリーニング（炭化水素汚染の除去）
SEM用試料および表面観察用バルク試料のクリーニング（専用試料ホルダー使用）

備考

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Model 1020