オスミウムコーター

型式

Os Coater (Neoc-STB)
メーカー

メイワフォーシス
導入年度

2012年度
設置場所

センター3F 分析電子顕微鏡室(1)
仕様

ターゲット材料：四酸化オスミウム
金属オスミウム被膜が形成される
ガスから被膜になるため凹凸の激しい構造も均一にコーティング可能
金属オスミウムを非晶質状態でコーティング可能
膜厚制御可能（0.25nm～10nm以上）

利用区分

学部生：✕　博士前期：◯　博士後期：◯　教職員：◯
依頼分析

学内：◯　学外：◯
管理担当者

徳永誠（科学分析支援センター主任技師）
活用事例

SEM観察やEDS分析のサンプル前処理
備考

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Os Coater (Neoc-STB)